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正置金相显微镜VMX4L大行程移动工作平台,长工作距半复消色差物镜,图像锐利清晰,广泛应用于晶圆、FPD等各项工业检测。
产品特点
1、VMX4L / VMX6L可以实现X、Y方向105mm-158mm的移动范围。
2、全*设计的长工作距专业金相物镜,成像效果更z越。
3、各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。
4、附件齐全,配置完善,可灵活进行系统组合与功能拓展。
5、人机工程学设计、坚实可靠的系统结构。
观察图实例/丰富的观察方式,满足您的检测需求
DIC微分干涉观察
在正交偏光的基础上 , 插入DIC棱镜,即可进行DIC微分干涉观察。使用DIC技术 ,可以使样品表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。可匹配带DIC功能的物镜,使整个视场的干涉色一致,微分干涉效果非常出色,高倍物镜DIC效果也较好。
产品结构设计
安全、稳重的机架结构设计
1、工业检测级显微镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,及大的提高的系统的抗振能力与成像的稳定性。
2、前置低手位粗微同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可以适应不同地区的电网电压。
3、MX6R机型底座内部设有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。
高性能物镜转换器
1、VMX机型的转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制,根据MX系列机型配置及功能的不同,可以选择不同型号的转换器。
2、PI103C51型:明场5孔转换器,带DIC插槽,用于VMX4L/VMX4LT机型。
3、PI115C6BDI型:明暗场6孔转换器,带DIC插槽,用于VMX6L/VMX6LT机型。
不同的照明器可供选择
1、明场反射照明器:单颗大功率5W暖色LED照明,适用于VMX4L/VMX4LT机型。
2、明场反射照明器:柯拉照明系统,带视场光阑与孔径光阑,中心可调;带斜照明装置,适用于VMX4L/VMX4LT机型。
3、明暗场反射照明器:带可变孔径光阑,视场光阑,中心均可调;带明暗场照明切换装置,适用于MX6R/MX6RT机型。
4、透射照明: VMX系列均可使用透反两用机型。透射光源为单颗大功率5W暖色LED, 并带有N.A.0.5聚光镜。
5、透射照明与反射照明可独立控制,即透反照明可同时开启,亦可单独开启。
大行程移动平台设计
1、VMX系列机型采用4〃/6〃平台设计,不仅适用于相应尺寸的晶圆及FPD检测,而且可用于小尺寸样品的阵列检测。
2、VMX4L/VMX4LT:4英寸双层机械移动平台,移动范围105mm×105mm;VMX6L/VMX6LT:6英寸三层机械移动平台,反射照明移动范围158mm×158
3、mm,透射照明移动范围100mm×100mm;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动。
4、通过使用平台适配接口,所有平台可在VMX系列机型之间通用。
超长工作距金相物镜
1、全*设计的长工作距物镜,采用半复消色差技术,其使用的多层宽带镀膜技术,使整个视场内的成像清晰锐利,色彩自然,明亮舒适。
2、长工作距设计,50X物镜的有效工作距离7.9mm,100X物镜的有效工作距离也达到了 2.1mm,更有20X超长工作距金相物镜,大幅拓展了VMX机型的同步设计了全套明暗场两用物镜,适用于 VMX6L 机型,暗场照明亮度比传统暗场物镜提高 2 倍以上。
无限远铰链式三目观察头
1、ETTR型正像铰链三目观察头,所成像的方位与物体实际方位yi致,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于使用者观察与操作。适用于6英寸移动平台配合使用。
2、VMX4LTH30R型铰链三目观察筒,适用于4英寸平台配合使用。
3、两种类型的观察筒可以在VMX机型内通用。
产品技术参数
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