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轻松实现从毫米到纳米无缝转换测量。
兼具激光显微镜和探针显微镜功能的一体机。
轻松检测85°
尖锐角采用了有着高N.A. 的专y物镜和专用光学系统(能*大限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以*确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。
LEXT 专用物镜 有尖锐角的样品(剃刀)
高度分辨率10nm,轻松测量微小轮廓
由于采用405 nm的短波长激光和更高数值孔径的物镜,OLS4500达到了0.12μm的平面分辨率。因此,可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的光栅读取能力和奥林巴斯近有的亮度检测技术,OLS4500可以分辨出亚微米到数百微米范围内的高度差。此外, 激光显微镜测量还保证了测量仪器的两大指标——“正确性”(测量值与真正值的接近程度)和“重复性”(多次测量值的偏差程度)的性能。
0.12μm行间距 高度差标准类型B, PTB-5从大范围拼接影像中制定
目标区域高倍率影像
容易使视场范围变小,而通过设置,OLS4500的拼接功能z多可以拼接625幅影像,从而能够获得高分辨率的大范围视图数据。不仅如此,还可以在该大范围视图上进行3D显示或3D测量。
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