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• 标配高性能二次电子及4分割背散射探头
• 一体集成式EDS探头,成像同时采集EDS结果
• 标配低真空模式成像功能
• 全自动马达控制及优中心倾转设计样品台
• 配备性能优化灯丝
• 直观友好用户界面设计
• 低维护成本
NANOS以高性价比提供高分辨率SEM成像和同步快速 元素分析(EDS)功能于一体,安装简单、使用及维护 方便。
NANOS 台式扫描电镜
NANOS是一款全面且高性价比的台式扫描电子显微 镜(SEM)。它采用zui新技术进行设计,提供快速高 质量的SEM成像和元素分析。它的设计先进且现代, 非常适合科学研究、产品研发和工业用户使用。
探测器
NANOS标配二次电子探测器(SED)和背散射电子 探测器(BSD)。BSD具有4象限检测功能。通过使 用不同区域信号的组合,能够实现样品的成分或形貌 细节du立成像,以及通过从多个方向突出显示表面而 具有“投影成像效果”的图像。
元素分析
NANOS配备了一体式集成硅漂移能量色散X射线探测 器(EDS) 。通过用户界面,用户可以选择EDX点分析 或实时元素面扫描。
优中心样品台
NANOS是台式扫描电镜中wei一一家标配优中心设计 样品台,能够通过用户控制界面实现电动XY轴样品 台移动,在SEM成像模式下可采用优中心设计样品台 倾转实现样品倾斜观察,且样品始终保持聚焦状态, 无需重新对焦,用户界面实时显示jing确样品台倾斜角 度,zui大倾斜角度为55°。
导航相机
NANOS在进样时,标配的光学导航相机会自动对样品 进行拍照实现样品精准导航。即便在高倍下,用户可 以轻松确定样品位置。
低真空成像
NANOS标配低真空成像功能,低真空成像模式能 够有效减少或消除样品荷电对成像的影响。当在高 真空模式下观察不导电的样品时,电子积聚在样品 表面,会导致严重荷电现象,影响样品观察。
用户操作界面
NANOS软件界面始终将SEM图像放在屏幕的中心, 通过直观的软件界面进行简单设置,即可完成样品拍 摄。该软件为仅需快速简单SEM成像的人提供简易模 式,同时也为深入进行样品分析需求提供gao级模式。 用户可以通过无线鼠标和键盘完全控制NANOS,并 可以通过iPad实现设备远程操控。导航摄像头 (NavCam)始终处于启用状态,能够确保用户准确 知道观察样品的对应位置。
主要技术特点
丰富的标准配置: NANOS标配二次电子探头(SED)、四分割高性 能背散射探头(BSD)、一体式集成EDS和优中 心设计样品台。
设计精良:
NANOS采用了可靠的现代设计,并采用了zui新的 成像技术和成分分析探测器。
售后维护方便:
NANOS的设计使您可以轻松进行维护和升级,这 些维护和升级可以在您的场所完成,无需售后工程 师上门。
可靠性高:
凭借出色的稳定性和较小的占地面积,NANOS的 架构确保了它可以在非实验室环境中使用,满足各 种现场工况成像需求。
多操作模式选择:
在基础模式下,无需操作经验,NANOS都能在短 时间内完成扫描电镜成像分析。高级模式为详细分 析提供了进一步的功能。
覆盖1kV至20kV可调加速电压,可确保高速EDS分析和 面扫,准确识别样品中的元素成分及含量。
设备维护
NANOS的开发以zui佳售后服务体验为核心,采用可拆 卸面板、模块化组件设计 、整机仅需一块控制板和少 量移动部件构成,可将售后服务要求降至最低。 NANOS的du特之处在于真空室内没有移动部件,由于 这种巧妙的设计,样品污染的风险大大消除。
电子光源
NANOS采用强大的热发射钨灯丝电子源,由电磁线圈 透镜和静电偏转器控制实现电子束扫描。使用“eco” 设置,灯丝寿命可以延长数百小时,并且仍然可以生 成高分辨率图像。任何用户都可以du立用很简单的对 准工具更换灯丝,确保zui短的停机时间。无需等待服 务工程师来上门更换。
技术参数
图像模式 |
光学 |
放大倍数范围: 2 – 12x |
电子束 |
放大倍数范围: 50 – 200,000x |
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分辨率 |
<8 nm |
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成像方式 |
光学 |
明场 |
电子束 |
优化钨灯丝 (tungsten) |
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加速电压 |
默认: 1, 2, 5, 7, 10, 15 & 20 kV,可调范围介于1和20kV之间 |
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探测器 |
二次电子探测器 (SED) |
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4分割被散射电子探测器 (BSD) |
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一体化集成X射线探测器(EDS) |
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数字成像控制 |
集成式彩色数字导航相机 |
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图像存储格式 |
JPEG, TIFF, PNG, BMP |
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用户界面 |
通信、成像和及分析均由通过无线鼠标和键盘进行控 制的单个窗口软件即可 支持远程控制(如iPad) 支持基础以及gao级模式 |
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数据存储 |
网络、USB、zhuan用工作站 |
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样品台 |
优中心样品台,倾转范围-15°~+40° |
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马达控制X、Y轴移动范围: 25 X 25 mm |
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样品尺寸 |
25 mm 直径钉台,zui大支持60 mm 直径 |
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EDS 参 数 |
探 测 器 类 型 |
Si漂移探测器 (SDD), 电制冷 |
探测窗口面积 |
30 mm2 |
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能量分辨率 |
@ Mn Kα < 127 eV |
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最大计数率 |
300,000 cps |
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硬件集成 |
一体嵌入式,直接集成于NANOS 用户界面 |
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软件 |
EDS分析以及面扫描 结果导出功能 |
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系统参数 |
主机尺寸 |
280mm (w) x 630mm (d) x 550mm (h) |
重量 |
60 kg |
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真空泵 |
无油真空泵以及涡轮分子泵 |
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真空模式 |
高真空模式(传统SEM)低真空模式0.4mbar(低真空SEM) 通过用户界面控制真空度 |
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工作站 |
带有27英寸显示器的预配置一体机。 安装SEM成像和EDS分析软件 |
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